| 研究分野 | 材料?部品の分析評価 |
|---|---|
| 機器番号 | 4 |
| 設備名 | レーザー顕微鏡 |
| 規格 | オリンパス(株) OLS3500-PTU |
| 用途 | 同一観測地点をミリメートルスケールからナノメートルスケールまで、光学顕微鏡、レーザー顕微鏡、 プローブ顕微鏡の三つのモードで観測できる装置であり、材料部品の不良解析などのために、 その形状等を観測するための設備である。 |
| 仕様?特徴 | [光学顕微鏡部分] ?対物レンズ:x5、x20、x100 [レーザ顕微鏡部分] ?光源:409nm ?Z軸表示分解能:1nm [プローブ顕微鏡部分] ?走査範囲:30μmx30μmx4μm |
| 設置場所 | 分析評価室 |
| 連絡先 | こちらの表をご確認ください。 ■新?機器設置場所、連絡先一覧 |
